真空材料の開発

　　　真空容器に付着した微量な不純物をマイクログラム（１００万分の１グラム）オーダーで計測する

真空容器に付着した微量な不純物（固体、液体、気体）がプラズマ中に入るとプラズマの性能を悪くすることから、真空材料に付着した不純物の量をマイクログラム（１００万分の１グラム）オーダーで計測して減らす必要があります。

＜微少不純物量の測定＞

間接的な測定では測定誤差が大きい
	⇒	直接測定手法として真空容器内に入れた試験片の重さを測定
	⇒	重さの時間変化が極く僅かであるため、
	⇒	測定精度を得るために時間がかかる（10時間以上）零点の長時間安定が必要

開発したマイクロ天秤

＜微少重量測定技術の応用例＞