耐磁場用セラミック製ターボ分子ポンプの開発

　核融合炉において連続的に真空排気を行うことを目的として 耐磁場性のターボ分子ポンプの開発をすすめています。

特徴

1. ロータ材にセラミックを用いて、回転動力をガスタービンとすることで磁場の影響を無くしました。
2. ロータ材の耐久性が高いので高圧力域で高速回転できます。
3. 完全オイルフリーで作動します。