真空ポンプの開発


大型ヘリカル溝真空ポンプの開発

　ITER・クライオポンプの運転効率を上げるために、 高速再生に適した磁気浮上式ヘリカル溝真空ポンプを開発しています。 気体を圧縮して排気口へ導くために、このポンプでは高速で回転するローターを用い、 その表面にヘリカル溝と呼ばれる特殊な溝を設けています。

特徴

  1. ターボ分子ポンプが作動不可能な高い吸入圧に最適(100 Pa台)
  2. 軽元素(H,D,T,He)ガスの排気に有利
これまでに高圧縮比用と高排気速度用の小型試験器の製作・運転によって ヘリカル溝真空ポンプの原理を実証しました。 また、大型化へむけて150 kg磁気浮上軸受の設計を行いました。

(*1)..設計値　　　
モデル GX30M GX150M
設計概念 高圧縮比 高排気速度
ガス N2 H2 D2 He N2 H2 D2 He
排気速度測定値 (L/s) 92 38 60 61 (*1)300 (*1)130 (*1)190 (*1)200
圧縮比測定値 5×106 7×102 7×103 4×103 1×106 8×101 4×102 3×102
ローター直径 190 mm
ローター高さ 210 mm
ベアリング方式 5 軸制御磁気浮上ベアリング
ロータースピード 450 s-1 (27,000 rpm)
重量 42 kg
冷却方式 水冷

　　　　
GX30M ローター外観　　　　　　　　　　　　GX150M ローター外観